直接透过式光控(DHOM-T)出厂

2011-03-30
在原有的光控HOM系列上,我们又新开发了直接透过式光控(DHOM-T)。
可以直接监视控制在成膜中旋转DOME上的基板。
而且可以与原有的光控同时搭载,拥有层间的控制切换功能。

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