| 1999.08 |
以生产销售各种光学成膜装置为目的而在东京都大田区设立本公司
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1999.09 |
在埼玉县川越市设立第1工厂
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| 2000.03 |
光通信用多层薄膜成膜装置（NBPF）开始销售
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| 2000.05 |
总公司迁至埼玉县川越市
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| 2000.12 |
以成膜装置的生产销售为目的而设立光驰科技（上海）有限公司（现在合并子公司）
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| 2001.01 |
IAD光学薄膜形成装置OTFC系列开始销售
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| 2001.04 |
以扩大生产能力为目的而在总公司工厂内设立第2工厂
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| 2004.10 |
随着新工厂在上海市内竣工，光驰科技（上海）有限公司迁址
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| 2006.05 |
泛用型光学薄膜形成装置Gener系列开始销售
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| 2007.08 |
将光学薄膜装置的生产从总公司工厂逐步转移到光驰科技（上海）有限公司
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| 2011.09 |
反应性等离子源成膜装置RPD系列开始销售
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| 2013.01 |
以扩充中国国内销售为目的而设立光驰（上海）商贸有限公司（现在合并子公司）
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| 2013.09 |
以扩充生产与研究开发能力为目的而设立光驰科技股份有限公司（台湾）（现在合并子公司）
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| 2014.02 |
光驰科技股份有限公司（台湾）的工厂竣工
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| 2014.08 |
以扩充销售体制为目的而设立Optorun USA, INC.（现在合并子公司）
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| 2014.09 |
光学薄膜用溅射成膜装置NSC-15开始销售
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| 2014.11 |
以扩大成膜事业的事业领域为目的，向提供薄膜加工服务的东海光电股份有限公司（现在适用权益法的关联公司）出资
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| 2017.02 |
光驰科技股份有限公司（台湾）以扩充生产与研究开发能力为目的而取得台湾苗栗县的新工厂
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| 2017.03 |
光学薄膜溅射成膜装置NSC-2350开始销售
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| 2017.08 |
以扩大成膜事业的事业领域为目的，向提供薄膜加工服务的浙江晶驰光电科技有限公司（现在适用权益法的关联公司）出资
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| 2017.12 |
在东京证券交易所市场第一部上市
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| 2018.11 |
在东京都丰岛区池袋开设东京办事处
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| 2019.1 |
以扩大成膜事业的事业领域为目的,出资上海繁雁真空科技有限公司(现适用权益法的关联公司)，该公司提供真空部件及装置的组装、加工服务等。
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| 2019.4 |
以扩大成膜事业的事业领域为目的,出资制造销售成膜装置的东莞汇驰真空制造有限公司(现 适用权益法的关联公司)
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| 2019.8 |
开始销售等离子体原子层沉积装置A800P
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| 2019.9 |
开始销售双面溅射成膜装置OWLS-1800D
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| 2020.1 |
开始销售新型·超多层薄膜形成装置SPOC-1100T
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| 2020.9 |
追加出资Afly solution Oy，合并子公司化
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| 2021.6 |
开始销售面向光学器件的干蚀刻装置DEG系列
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| 2021.9 |
以成膜装置的开发、生产、销售为目的的光驰半导体设备(上海)有限公司(现 设立合并子公司)
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| 2022.4 |
关于东京证券交易所向新市场的转移, 转移到优质市场。
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