光学镀膜机

Gener-1300

本装置是为减反射光学薄膜的大批量生产而设计制作的光学镀膜机。

特長
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采用了磁流体密封技术的中心旋转式基板架，保证了薄膜产品的重复性与均匀性
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优化的排气特性和升温能力使镀膜时间缩短
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可以加装用于对应高精度AR镀膜的多层膜用可靠的光控仪 (optional)

规格

真空室 SUS304,Ф1300mm×1500mm(H)
基板架 4片式工作架（或Ф1200 mm）
基板架转速 最大30rpm(可调)
晶振式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪1台
　

性能

极限真空 7.0 × 10-5 Pa 以下
抽气速度 10分（大气压～3.0×10-3Pa）
基板最高加热温度 最高350℃
　

安装要求

安装空间 约4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)
电力 3相，200V，50/60Hz，约80KVA
水流量 100升/分以上
压缩空气压力 0.5-0.7MPa
重量 约5000kg
　

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