光学镀膜机

Gener-2350

AS/AR Vacuum Coater

此真空镀膜机是镀制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AS+AS膜）的大型光学镀膜机，
应用于智慧手机等所配的触摸屏。

特長
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磁密封驱动的基板旋转方式可得到稳定和均匀的膜厚分布
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配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性。（*已通过4万次以上摩擦试验*）
* 根据摩擦试验的规格，摩擦的次数有所不同。
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防污膜（AS 膜）批量生产。

规格

真空室 Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm，5片式
基板架转速 20rpm
晶振式膜厚计 6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪1台，热阻蒸1台
离子源 RF离子源
　

性能

达到压力 7.0E-5Pa 以下
排气时间 15分以下（大气压～2.0×10-3 Pa）
　

工作条件

设备尺寸 约6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
电源 3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
水流量 220升/分以上
空气压力 0.5 - 0.7 MPa
重量 约12000kg
　

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