镀膜设备的开发设计制造

大电流离子源

离子枪是离子辅助、离子束溅射等成膜设备不可缺少的重要部件。为了提高离子辅助成膜的速度、本公司自行开发研制了大电流、广角度、高均匀性的离子源。该离子源的型号为OIS。

高精度光学膜厚计

光学膜厚计是在真空镀膜设备制造光学薄膜时、监测基板上形成薄膜光学厚度的测定仪器。该设备是制造精密薄膜、实现自动化成膜控制不可缺少的测定设备。针对薄膜的光学特性（波长带宽、膜层数、膜规格等）、本公司已开发成功各种高精度光学膜厚计。

HOM1系列是面向光通信滤光片成膜的光学膜厚计。
HOM2系列是面向大范围应用的光学成膜的光学膜厚计。有反射式和透过式两种。其它如多通道分光膜厚计等的开发制造正在进行。

高性能控软件

高效制造高性能薄膜需要稳定性和可靠性高的控制软件。我们提供了具备专利的先进控制技术。我们的控制软件具备便利的操作界面和丰富的功能。预留网络监视系统，可以满足用户同时监控数台设备运转状态的需求。