直接透過式モニタ「DHOM-T」を出荷

2011-03-30

 

光学膜厚計HOMシリーズに、直接透過式モニタ「DHOM-T」が新たに加わりました。
成膜中に回転ドーム上にある基板の光学膜厚を直接監視制御する事ができます。
また、従来式の間接モニタと同時搭載もでき、各層で切替制御が可能です。