狭帯域フィルタ自動測定システム

装置概要 応　用

本装置は、狭帯域光学フィルタウェハーの光透過率を測定し、 ウェハーの性能を評価するためのシステムです。

自動マッピング機能によりウェハーの歩留まりを評価できます。

特　徴

• フィルタの波長測定精度：±0.02nm（3 σ誤差評価）
• フィルタの透過率測定精度：±0.02dB（90％ T 時、3 σ誤差評価）
• フィルタの高性能分析