High Resolution Optical Monitar
高分解能光学モニタ
HOM1-1
装置概要 応 用
HOM1-1 は狭帯域透過フィルタ等成膜装置向けの膜厚制御用光学式高分解能光学膜厚モニタです。
特 徴
- 高NA値光学系と超低ノイズの回路設計により相対値で±0.01％のノイズ特性を実現
- 高分解能分光光学系を用いることにより波長分解能0.08nmを達成
- ハロゲン光源を使用し、モニタリング波長帯域1100nm～1700nmに対応可能
- 自社開発のNBPFフィルタ成膜向け膜厚測定技術を採用し、±0.01％の感度で光量変化を検出可能
| HOM1シリーズ型高分解能光学モニタ仕様 | |
|---|---|
| 型番 | HOM1-1 |
| 波長帯域 | 1100nm to 1700nm |
| 波長分解能 | 00.8nm |
| 光量設定分解能 | 0.001% |
| 光源 | ハロゲンランプ |
| 電源 | AC100V ± 10% 50/50Hz |
| 消費電力 | 600VA |
