Optical Thin Film Coater
光学薄膜形成装置
OTFC-1100
仕様例
| モデル名 | OTFC-1100CBI/DBI |
| 真空チャンバ | SUS304,φ1100mm×1520mm(H) |
| 基板ドーム | φ950mm |
| 基板ドーム回転速度 | 10rpm to 50rpm(可変) |
| 光学膜厚制御システム | HOM2-R-VIS350A型光学モニタ 波長範囲:350nm to 1100nm 反射式/透過式 |
| 水晶式膜厚計 | XTC/3+6点ロータリーセンサ |
| 蒸発源 | 電子銃2基 |
| イオンソース | 17cmRFイオンソース |
| 排気システム | あらびきポンプ+拡散ポンプ2基+ポリコールド あるいはクライオポンプ2基+スーパートラップ |
| 性能 | |
|---|---|
| 到達圧力 | 7.0×10-5Pa以下 |
| 排気時間 | 20分（大気圧～1.3×10-3Paまで) |
| 基板ヒータ温度 | 最高：350℃ |
| 所要諸元 | |
| 設置寸法 | 約5000mm(W)×6000mm(D)×3300mm(H) |
| 所要電力 | 3相,200V,50/60Hz,約100KVA |
| 所要流量 | 120リットル/分以上 |
| 所要空気圧 | 0.5MPa以上 |
| 重量 | 約8500kg |
