超多層薄膜形成装置

装置概要 応　用

SPOC-1100Tは、光通信向け狭帯域フィルタ製造用の光学薄膜形成装置です。超多層光学薄膜のコーティングを高精度で行い、各種狭帯域バンドパスフィルタを生産します。

特　徴

• 高分解能光学式膜厚モニタにより成膜時の光学膜厚をリアルタイムで測定・インテリジェント成膜ソフトが精緻な膜厚制御を実現
• 磁気シール式高速基板回転機構により膜の高均一性を実現
• 大型ハース付き電子銃２基を搭載、超多層薄膜に対応
• 最適化された自社製イオンソースによりスーパーユニフォーミティを実現