膜評価

光学薄膜の評価

光学薄膜を正確に評価することは、成膜プロセスに不可欠です。オプトランの光学薄膜測定ノウハウから開発された評価システムORシリーズは光通信用フィルタの光学特性評価装置です。光通信用フィルタ製品の分光特性や温度依存性などの測定、評価が可能になりました。 

  • OR200 Series DWDMフィルタウェハー評価システム
  • OR300 Series DWDMフィルタチップ自動評価システム
  • OR500 Series DWDMフィルタチップ温度依存性評価システム