イオンソース

OIS-CDM

イオンソース電流密度測定器

OIS-CDM は、イオンソースのイオン電流密度を測定することができる専用測定器です。

オプションのプログラムを使用することによって、イオンソースコントローラおよびガスフローコントローラと連動し、自動測定することが可能です。

仕様

電源電圧	AC100V ± 15％
内部バイアス電源	0 ～± 60V/0.5A
電流測定範囲	± 199.99mA ～± 1.9999mA
付属品	測定子、ケーブル、フィードスルー
標準付属測定子	外形φ30mm（測定面φ8mm）、10 個
スキャン測定数	32 点
寸法	480 × 99 × 330mm