イオンソース

OIS-CDM

イオンソース電流密度測定器

OIS-CDM は、イオンソースのイオン電流密度を測定することができる専用測定器です。

オプションのプログラムを使用することによって、イオンソースコントローラおよびガスフローコントローラと連動し、自動測定することが可能です。

仕様

電源電圧 AC100V ± 15%
内部バイアス電源 0 ~± 60V/0.5A
電流測定範囲 ± 199.99mA ~± 1.9999mA
付属品 測定子、ケーブル、フィードスルー
標準付属測定子 外形φ30mm(測定面φ8mm)、10 個
スキャン測定数 32 点
寸法 480 × 99 × 330mm