产品系列
ALDER　等离子体原子层沉积镀膜设备

能够在立体形状上形成均匀性良好的薄膜，实现了传统成膜技术无法达到的光学特性的装置

特征

  • 可见光波段反射率低于0.1%的超低反射率镀膜
  • 适用于陡峭立体结构表面的自适应镀膜
  • 适用于大曲率透镜双面的广入射角镀膜
  • 适用于塑料基底的低温等离子体层镀膜技术
  • 能实现无鬼影无眩光的真实而清晰的高品质图像
ALDER 等离子体原子层沉积镀膜设备

应用领域

  • 手机

    手机

  • LED

    LED

规格

A800PBS A1000PC
真空室 W880mm×D1100mm×H1700mm W900mm×D900mm×H1150mm
成膜BOX W360mm×D900mm×H360mm W374mm×D700mm×H800mm
旋转式基板夹具 φ300夹具×25段、30rpm φ350夹具×40段、30rpm
等离子源 ICP(电感耦合等离子体)
前驱体供给源 前驱体容器、ALD阀、
前驱体（TMA、3DMAS、TiCI4及其他）
排气系统 干泵
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