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蒸镀设备

该装置采用离子束辅助沉积法。离子束辅助沉积法是一种薄膜沉积方法,它利用离子枪轰击基底,从而提高薄膜的附着力和质量。离子枪发射的离子具有动能,并以高速撞击基底的薄膜表面。这使得制备具有高密度和其他优良特性的高质量薄膜成为可能。

溅射设备

该方法包括加速离子轰击靶材,将靶材上的薄膜材料喷射出来,然后将喷射出的材料沉积到基底上。旋转圆柱形靶系统能够实现长时间内稳定的薄膜沉积,并保持沉积速率和分布的一致性。

原子层沉积镀膜设备

这项技术能够通过在原子层尺度上控制薄膜厚度,形成平整致密的薄膜。它能够在各种基底上涂覆均匀薄膜,从硅晶片等平面基底到具有高纵横比的三维结构均可适用。

蚀刻设备

干法刻蚀是实现亚微米至纳米尺度微加工的关键工艺,广泛应用于各种器件的制造过程中。与湿法刻蚀相比,干法刻蚀在纳米尺度微加工方面更具优势,且无需废水处理,从而降低了对环境的影响,使其成为一项有助于实现可持续发展目标的技术。

GCIB

这项技术涉及将数千个气体原子电离成团簇,加速这些团簇,然后加以利用。
它能够实现超平面加工,例如原子级表面平滑和表面改性。

离子源

光通信

头戴式显示器/智能眼镜