产品系列
HOM・DHOM　光学膜厚监控仪

用于真空沉积设备的光学薄膜厚度计，可用于沉积抗反射涂层和各种光学滤波器。
我们提供多种型号，波长范围从 220nm 到 5500nm，可根据监测方法、测量方法和分辨率选择适用于特定应用的监测系统。
新开发的“直接透射监测器”可在沉积过程中直接监测旋转圆顶形基板上的光学薄膜。

特征

  • 可以直接在旋转穹顶上监测和控制基板的光学薄膜厚度。
  • 穹顶上的监测位置可以改变。
    （薄膜沉积前需要进行调整）
  • 它可以与使用监测玻璃的传统铰链式显示器同时安装，并且可以对每一层进行切换控制。
HOM・DHOM 光学膜厚监控仪

规格

HOM2 HOM4-R/T/RT HOM-5-T-IR2000 DHOM-T HOM-R-DUV200
波长带 350～1100nm 350～240nm 1700～5500nm 350～2400nm 200～400nm
电源 AC100V±10%、50/60Hz㎝ AC100V±10%、50/60Hz AC100V±10%、50/60Hz AC100V±10%、50/60Hz AC100V、50/60Hz
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