产品系列COFC 连续式光学薄膜成膜设备
适用于为蒸镀室中增设两间加热辅助室的连续式光学薄膜形成装置
基板DOME输送机构的高处理速度适用于防反射膜的量产
特征
- 采用多点式高精度反射式光学监测器控制光学膜厚
- 搭载适用于颗粒/颗粒材料的自动送料机构
- 非常适合用于防反射涂层
- 全自动控制系统实现DOME输送与成膜
应用领域
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规格
| COFC-1300 | |
| 真空室 | φ1510mm×H1558mm |
| 工件架 | φ1200mm |
| 蒸发源 | 电子枪2套 |
| 离子源 | RF 离子源 |
| 光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS400A 波长范围: 400~1100nm 反射式 |
| 水晶式膜厚计 | 20点式水晶传感器 |