产品系列Gener 离离子源辅助蒸镀设备
为减反射光学薄膜的大批量生产而设计制作的光学镀膜装置。
特征
- 采用了磁流体密封技术的中心旋转式基板架，保证了薄膜产品的重复性与均匀性
- 优化的排气特性和升温能力使镀膜时间缩短
- 可选配光学监测系统、直流离子源及电阻加热蒸发源
- Gener-2350/2750可实现结合防反射膜与防污膜的成膜工艺
应用领域
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手机
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汽车
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安防摄像头
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头戴式显示器/智能眼镜
规格
| Gener-1300 | Gener-2350 | Gener-2750 | |
| 真空室 | φ1300mm×H1500mm | φ2350mm×H1400mm | φ2750mm×H1880mm |
| 工件架 | φ1200mm,4分割式 | φ2200mm,5分割式 | φ2640mm,4分割式 |
| 蒸发源 | 电子枪1套 | 电子枪1套 可动式AS源 | |
| 离子源 | RF 离子源 | ||
| 水晶式膜厚计 | 6点式水晶传感器 | ||