产品系列
SPOC　超多层超窄带蒸镀设备

适用于5G光通信的DWDM/CWDM滤波器片的真空镀膜装置
能进行高精度的光学多层膜镀膜，生产光通信用的滤光片。

特征

  • 通过优化设计的高分辨率光学膜厚监测与控制系统，实现了高精度成膜控制
  • 通过磁性密封高速基板旋转机构实现更高的涂层厚度均匀性
  • 大容量Φ600材料坩埚电子枪与14点水晶膜厚计，可应对超多层薄膜
  • 通过优化射频离子源实现卓越的薄膜厚度与薄膜质量均匀性
SPOC 超多层超窄带蒸镀设备

应用领域

  • 光通信

    光通信

规格

SPOC-1100 SPOC-1300
真空室 φ1100mm × H1300mm φ1300mm × H1610mm
工件架 φ90,φ150mm φ500mm
蒸发源 电子枪2套
离子源 RF 离子源
水晶式膜厚计 14点式水晶传感器 6点式水晶传感器
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