产品系列
DSC　光学薄膜用溅射设备

光学薄膜滤光片用溅射装置。
通过搭载真空自动处理与翻转机构，实现高质量量产。
适用于汽车镜片凹面/凸面的防反射膜与防污膜涂层，以及光学元件的防反射膜、高反射膜和硬膜涂层。

特征

  • 双腔室：单道工序实现产品双面AR+AS镀膜
  • 单腔室：单道工序实现产品双面AR镀膜
  • 最多可搭载8个靶位
  • 双旋转圆筒靶实现稳定放电
  • 高装载容量·短时工艺，最适量产需求
DSC 光学薄膜用溅射设备

应用领域

  • 汽车

    汽车

规格

DSC-1650
真空腔体 φ1650mm×H1500mm
基板夹具 16片
旋转滚筒系统 φ1545mmDOME式、
10rpm～100rpm（可変）
反应源 ICP（电感耦合等离子体）
溅射源 双旋转阴极
排气系统 粗抽泵，分子泵
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