产品系列
OTFC　离子源辅助蒸镀设备

用于稳定生产无位移光学滤光片（如边缘滤光片、带通滤光片、增透镀膜等）的离子束辅助蒸发（IAD）式高性能光学薄膜形成装置。

特征

  • 腔室尺寸：φ600mm - φ1800mm
  • 采用60点/80点式高精度光学膜厚计进行光学膜厚监控
  • RF离子源实现大面积均匀分布与高电流密度，支持高速成膜
  • 搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
  • 利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
  • 工件架可选择钟罩式或行星式
  • 排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器或冷凝泵
OTFC 离子辅助蒸发设备

应用领域

  • 手机（展示）

    手机

  • 汽车

    汽车

  • 医疗器械

    医疗器械

  • 光通信

    光通信

  • LED

    LED

  • 安防摄像头

    安防摄像头

  • 头部显示器/智能眼镜

    头部显示器
    智能眼镜

规格

OTFC-900 OTFC-1100 OTFC-1300 OTFC-1550 OTFC-1800
真空室 φ900mm×H1300mm φ1100mm×H1520mm φ1300mm×H1610mm φ1550mm×H1800mm φ1800mm×H1920mm
工件架 φ790mm φ950mm φ1130mm φ1400mm φ1600mm
蒸发源 电子枪2套
离子源 RF 离子源
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A 型光学膜厚监控仪
波长范围: 350~1100nm
反射式/透射式可选
水晶式膜厚计 6点式水晶传感器
排气系统 粗抽泵+扩散泵（+冷却器）
或低温泵（+低温阱）
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