产品系列HOTF 离子源辅助蒸镀设备
具备优异量产性的真空蒸镀设备，能够以低成本、高稳定性生产出品质卓越的红外截止滤光片、DBR及塑料镜片用防反射膜。
特征
- 排气系统搭载涡轮分子泵，实现低颗粒排放。
- 离子源采用适用于高速成膜的OIS-26H离子源。折射率分布提升约30%。
- 膜厚分布：<10%（未使用膜厚辅正板）、<1%（使用膜厚辅正板）
- 产品：批量生产红外截止滤光片、LED用DBR、塑料用AR膜等。
- 生产能力与OTFC-1550相比提升约90%
应用领域
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手机
（展示） -
汽车
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安防摄像头
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头戴式显示器/
智能眼镜
规格
| HOTF-2025 | |
| 真空室 | φ2025mm×H1852mm |
| 工件架 | φ1900 |
| 水晶式膜厚计 | 6点式水晶传感器 |
| 蒸发源 | 电子枪2套 |
| 离子源 | RF 离子源 |