产品系列SDARP 离子源辅助蒸镀设备
适用于树脂光学镜片的多种薄膜的光学薄膜形成设备
特征
- 可实现节省空间的安装
- 不仅支持自动翻转式穹顶,也可对应一体式穹顶
- 通过选配 RF 离子源,可实现离子辅助蒸镀方式的成膜,从而能够制备高品质的光学薄膜
应用领域
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手机
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汽车
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安防摄像头
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头戴式显示器/智能眼镜
规格
| SDARP-1800 | |
| 真空室 | φ 1800mm × H1770mm |
| 工件架 | W510×L690,9分割 |
| 蒸发源 | 电子枪2套 |
| 离子源 | RF 离子源 |
| 水晶式膜厚计 | 6点式水晶传感器 |
| 光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A 型光学膜厚监控仪 波长范围: 350~1100nm 反射式/透射式可选 |