产品系列OGCT 气体簇离子修整设备
利用气体团簇离子束的修整装置
适用于射频滤波器频率调整中的膜厚控制，可处理最大Φ200mm的晶圆，通过高精度膜厚修整控制实现良率提升。
特征
- 搭载EFEM系统，采用卡式换片设计
- 加速能量：最高60kV
- 通过专有模拟软件计算最佳蚀刻量
- 高精度扫描系统实现精密蚀刻控制
- 可选装光学薄膜厚度计
应用领域
-
电子设备
（通信设备（BAW/SAW）） -
半导体
规格
| OGCT-8000 | |
| 外形寸法 | L5035×W1971×H2302 |
| 气体簇离子束源 | 电子冲击式、隔热膨胀凝聚型 |
| 膜厚測定部 | FTMW-200P、 反射型顕微分光式 |