光学膜用スパッタリング装置ＨＳＰ－１６５０をリリース

高性能・高品質な光学フィルタを生産可能な新しいスタイルのスパッタ装置を開発、完成しました。
メタルモード方式を採用。ロードロック室を装備し、3種類の円筒カソードを搭載することにより、多様な成膜仕様に対応します。