イオンソース

OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus

17cm RF イオンソース

OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus はオプトランがイオンアシスト蒸着(IAD)向けに最適化した自社開発の高性能RFイオンソースです。

ハイレートで大面積のIAD 真空蒸着が可能で、基板クリーニングにも適しています。

光学薄膜形成装置OTFC-1100、OTFC-1300、OTFC-1550に搭載することにより各種光学フィルタの量産に最適です。

特長
フィラメント等の消耗品を使用する一般的なイオンソースと比較し、長寿命かつコンタミが少ない
イオン分布の均一性が高く大電流かつ広範囲
(OIS-Two Plus:φ1400mm以上)を照射可能
動作の安定性が高く長時間運転が可能

仕様

型番 OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
寸法 φ300mm × 150mm (H)
グリッドサイズ φ 17cm(モリブデン製ディッシュ型グリッド3 枚)
ビーム電圧 100V 〜 1500V
ビーム電流(max) 1000mA 1200mA
Acc 電圧 100V 〜 1000V
RF パワー(max) 600W 750W 1000W
ガス流量 20sccm 〜 30sccm(アルゴン)
40sccm 〜 60sccm(酸素)
使用圧力 5 × 10-2 Pa
水冷方式 RF コイルおよび本体
 

ニュートラライザー仕様

寸法 φ 6cm × 8cm φ 7cm × 12cm
エミッション電流(max) 1500mA 2000mA 2400mA
RF パワー(max) 150W
ガス流量 5sccm 〜 10sccm(アルゴンのみ)