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光学モニタ
HOM2-RT-S1
広帯域高分解能光学モニタ
HOM2-RT-S1は光学フィルター精密成膜装置向けの広波長帯域高分解能光学膜厚計です。
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波長帯域350nm～2400nmまでの高精度自動成膜制御を実現
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0.2nm以下の波長分解能で±0.001％の超低ノイズを達成
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測光方式は透過式/反射式を自動切替
仕様
| 型番 | HOM2-RT-S1 |
| 波長帯域 | 350nm ～ 2400nm |
| 波長分解能 | 0.2n |
| 光源 | ハロゲンランプ |
| 電源 | AC100V ± 10%、50/60Hz |
