光学モニタ

HOM2-RT-S1

広帯域高分解能光学モニタ

HOM2-RT-S1は光学フィルター精密成膜装置向けの広波長帯域高分解能光学膜厚計です。
特長
波長帯域350nm~2400nmまでの高精度自動成膜制御を実現
0.2nm以下の波長分解能で±0.001%の超低ノイズを達成
測光方式は透過式/反射式を自動切替

仕様

型番 HOM2-RT-S1
波長帯域 350nm ~ 2400nm
波長分解能 0.2n
光源 ハロゲンランプ
電源 AC100V ± 10%、50/60Hz