イオンソース

OIS-Three/OIS-Three Plus

RF イオンソース

OIS-Three/OIS-Three Plus はイオンビームアシスト蒸着では世界最大級のビーム照射を有し、φ1600ドームに均一照射が行えます。

ハイレートでの真空蒸着および基板クリーニングに適しています。

光学薄膜形成装置OTFC-1800 に搭載することにより高性能な光学フィルタの大量生産に最適です。

特長
新開発の特殊グリッドにより、グリッドの長寿命化を達成
フィラメント等の消耗品を使用する一般的なイオンソースと比較し、長寿
命かつコンタミが少ない
分布の均一性が高く大電流でφ 1600 mm以上の広範囲を照射可能
動作の安定性が高く長時間運転が可能

仕様

型番 OIS-Three OIS-Three Plus
寸法 φ 390mm ×215mm(H)
グリッドサイズ φ 23cm(モリブデン製ディッシュ型グリッド3 枚)
ビーム電圧 100V 〜 1500V
最大ビーム電流 1800mA 2400mA
Acc 電圧 100V 〜 1000V
最大RF パワー 2000W
ガス流量 20sccm 〜 40sccm(アルゴン)
40sccm 〜 80sccm(酸素)
使用圧力 5 × 10-2 Pa
水冷方式 RF コイルおよび本体
 

ニュートラライザー仕様

寸法 φ7cm ×12cm
エミッション電流(max) 2800mA 3000mA
RF パワー 150W(max)
ガス流量 5sccm 〜 10sccm(アルゴンのみ)