光学モニタ

HOM4-R/T/RT

広帯域光学モニタ

HOM4は光学フィルタ成膜装置向けの広波長帯域の光学膜厚計です。

HOM2-RT-S1と同等の波長範囲で測光方式は透過/反射を自動切替可能。

特長
波長帯域350~2400nmまでの自動成膜制御を実現
分光器の小型化により省スペースを実現(HOM2シリーズと同等)
透過式と反射式でモニタ方式を選択または自動切替可能

仕様

型番 HOM4-R HOM4-T HOM4-RT
波長帯域 350 ~ 2400nm
光源 ハロゲンランプ
電源 AC100V ± 10%、50/60Hz