光学モニタ

HOM5-T-IR2000

中赤外域光学モニタ

HOM5-T-IR2000 は赤外フィルター成膜装置向けの中赤外透過式光学膜厚計です。

波長帯域は1700~5500nmで、従来からラインナップしている近赤外域膜厚計900~2400nmより更に長波長の光学膜厚モニタを実現しました。

仕様

型番 HOM5-T-IR2000
波長帯域 1700 ~ 5500nm
電源 AC100V ± 10%、50/60Hz