超多層薄膜形成装置

SPOC-1100

SPOC-1100は、5G光通信向けDWDM/CWDMフィルタに適応した光学薄膜形成装置です。高精度での膜厚制御により様々な超多層光学フィルタを生産します。

特長
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最適化された高分解能光学膜厚モニタと制御システムにより高精度成膜制御を実現
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磁気シール高速基板回転機構より高い膜厚均一性を実現
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大容量Φ600材料ハース電子銃と14点水晶膜厚計で超多層膜に対応
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最適化されたRFイオンソースにより優れた膜厚・膜質均一性

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