成膜装置関連技術
オプトランの幅広いプロセスノウハウから生まれた成膜ソリューションは、広範囲のアプリケーションのための先端技術を提供します。大電流イオンソース
イオンガンとも称し、イオンアシスト蒸着、イオンビームスパッタリングなどの成膜装置に欠かせない重要部品です。イオンアシスト蒸着プロセスの高レート達成のため、当社では独自に、大電流、広角度、均一なイオン電流密度分布を持つイオンソースOISシリーズを開発しました。超高精度光学式膜厚モニタ
光学膜厚計とも称し、真空成膜装置で光学薄膜を作成する際に、基板上に形成された薄膜の膜厚をモニタリングするための測定計器です。精密薄膜の作成、自動化成膜制御を実現するためには不可欠な測定計器です。膜の光学特性（波長帯域、膜層数、膜仕様など）に対応した、各種の高精度光学膜厚モニタを開発しました。オプトランの光学膜厚計ラインアップは広範囲のアプリケーションの成膜制御向けにモニタ硝子反射式、モニタ硝子透過式、成膜基板直接監視式、光通信フィルタ成膜用等の光学膜厚計がございます。
