成膜装置関連技術

オプトランの幅広いプロセスノウハウから生まれた成膜ソリューションは、広範囲のアプリケーションのための先端技術を提供します。

大電流イオンソース

イオンガンとも称し、イオンアシスト蒸着、イオンビームスパッタリングなどの成膜装置に欠かせない重要部品です。イオンアシスト蒸着プロセスの高レート達成のため、当社では独自に、大電流、広角度、均一なイオン電流密度分布を持つイオンソースを開発しました。OISはそのイオンソースの型式です。

超高精度光学式膜厚モニタ

光学膜厚計とも称し、真空成膜装置で光学薄膜を作成する際に、基板上に形成された薄膜の膜厚をモニタリングするための測定計器です。精密薄膜の作成、自動化成膜制御を実現するためには不可欠な測定計器です。膜の光学特性(波長帯域、膜層数、膜仕様など)に対応した、各種の高精度光学膜厚モニタを開発しました。

HOM1シリーズは光通信フィルタ成膜向けの透過式光学膜厚モニタです。HOM2シリーズは広範囲のアプリケーションの光学成膜向け光学膜厚モニタで、反射式と透過式があります。その他にマルチチャンネル分光モニタなども開発、製作しています。

高性能制御ソフト

安定性および信頼性のある制御ソフトは効率よく高性能膜を形成するために不可欠です。我々はプロセスノウハウの先端制御技術を提供いたします。便利な操作インタフェースと豊富な機能を持っております。ネットワークの監視システムも用意しており、お客様の要望により数台装置の稼動状態を同時に表示することができます。