光学モニタ

HOM1-1

高分解能光学モニタ

HOM1-1 は狭帯域透過フィルタ等成膜装置向けの膜厚制御用光学式高分解能光学膜厚モニタです。
特長
高NA値光学系と超低ノイズの回路設計により相対値で±0.01%のノイズ特性を実現
高分解能分光光学系を用いることにより波長分解能0.08nmを達成
ハロゲン光源を使用し、モニタリング波長帯域1100nm 〜 1700nmに対応可能
自社開発のNBPFフィルタ成膜向け膜厚測定技術を採用し、±0.01%の感度で光量変化を検出可能

仕様

型番 HOM1-1
波長帯域 1100nm ~ 1700nm
波長分解能 0.08nm
光量設定分解能 0.001%
光源 ハロゲンランプ
電源 AC100V ± 10%、 50/60Hz
消費電力 600VA