| 1999.08 |
東京都大田区に各種光学成膜装置の製造販売を目的として当社設立 |
1999.09 |
埼玉県川越市に第１工場新設 |
| 2000.03 |
光通信用多層膜フィルタ成膜装置（NBPF）販売開始 |
| 2000.05 |
本社を埼玉県川越市に移転 |
| 2000.12 |
成膜装置部品製造販売を目的に光馳科技（上海）有限公司（現 連結子会社）を設立 |
| 2001.01 |
IAD光学薄膜形成装置OTFCシリーズ販売開始 |
| 2001.04 |
生産能力拡張を目的に本社工場に第２工場新設 |
| 2004.10 |
光馳科技（上海）有限公司が上海市内の新工場竣工に伴い移転 |
| 2006.05 |
汎用型光学薄膜形成装置Generシリーズ販売開始 |
| 2007.08 |
光学薄膜装置の生産を本社工場から光馳科技（上海）有限公司に順次移管 |
| 2009.10 |
光学膜用スパッタ成膜装置HSP-1650販売開始 |
| 2011.09 |
反応性プラズマ成膜装置RPDシリーズ販売開始 |
| 2013.01 |
中国国内営業取引の拡充を目的に光馳（上海）商貿有限公司（現 連結子会社）を設立 |
| 2013.09 |
生産・研究開発の拡充を目的に光馳科技股份有限公司（台湾）（現 連結子会社）を設立 |
| 2014.08 |
販売体制の拡充を目的にOptorun USA, INC.（現 連結子会社）を設立 |
| 2014.09 |
光学膜用スパッタ成膜装置NSC-15販売開始 |
| 2017.02 |
光馳科技股份有限公司（台湾）が生産・研究開発の拡充を目的に台湾苗栗県に新工場を取得 |
| 2017.03 |
光学薄膜スパッタ成膜装置 NSC-2350販売開始 |
| 2017.08 |
成膜事業への事業領域拡大を目的に薄膜加工サービスを提供する浙江晶馳光電科技有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
| 2017.12 |
東京証券取引所 市場第一部（現 プライム市場）に上場 |
| 2018.09 |
成膜事業の事業領域拡大を目的に成膜装置の設計サービスを提供するAfly solution Oy（現 連結子会社）に出資 |
| 2019.01 |
成膜事業の事業領域拡大を目的に真空部品及び装置の組立・加工サービス等を提供する安徽繁楓新能源科技有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
| 2019.08 |
プラズマ原子層堆積装置A800P販売開始 |
| 2019.09 |
両面スパッタ成膜装置OWLS-1800D販売開始 |
| 2020.01 |
新型・超多層薄膜形成装置SPOC-1100T販売開始 |
| 2020.09 |
Afly solution Oyに追加出資し連結子会社化 |
| 2021.06 |
光学デバイス向けドライエッチング装置DEGシリーズ販売開始 |
| 2021.09 |
ALD成膜装置の開発、生産、販売を目的に光馳半導体技術（上海）有限公司（現 連結子会社を設立） |
| 2023.07 |
光学製品への精密加工装置の開発、製造、販売を目的にナノリソティックス株式会社（現 連結子会社）を設立 |
| 2023.07 |
部品加工、部品販売、設計、顧客支援を目的に、Optorun Vina Company Limited（現 連結子会社）を設立 |
| 2023.08 |
事業基盤の強化及び効率的な事業運営のため、本社を埼玉県鶴ヶ島市に移転 |
| 2024.05 |
東京都中央区に東京オフィス開設 |
| 2025.02 |
ナノリソティックス株式会社における合併事業の拡大等を目的にフラットパネル・ディスプレイ（FPD）製造装置、半導体パッケージ製造装置の開発・製造・販売等を行うAIメカテック株式会社に出資 |
