光学モニタ

HOM2 シリーズ

高精度光学モニタ

HOM2シリーズは反射防止膜や各種光学フィルタ成膜用の真空蒸着装置向けの光学式膜厚計です。
特長
安定性の高いファイバ光学系と超低ノイズの回路設計により相対値で± 0.001%のダークノイズ特性を実現
透過式と反射式でモニタ方式を選択可能
自社開発のNBPF フィルタ成膜向け膜厚測定技術を採用し、±0.05%の感度で光量変化を検出可能

仕様

測定区分 反射式
可視域膜厚計
透過式
可視域膜厚計
反射式
近赤外域膜厚計
透過式
近赤外域膜厚計
型番 HOM2-R-VIS350 HOM2-T-VIS350 HOM2-R-IR900 HOM2-T-IR900
波長帯域 350nm ~ 1100nm 900nm ~ 2400nm
光源 ハロゲンランプ ハロゲンランプ
電源 AC100V ± 10%、50/60Hz