イオンソース

OIS-GL

グリッドレス DC イオンソース

OIS-GL は基板クリーニングやイオンアシスト用に開発された低電圧大電流のグリッドレスイオンソースです。

Gener-1300 またはOTFCシリーズに搭載することにより各種の光学フィルタが生産できます。

特長
基板クリーニングや樹脂基板の成膜に適しています
低エネルギー・大電流でφ1200mm 以上の広範囲を照射可能
冷却方式を工夫することにより、動作安定性を向上

仕様

型番 OIS-GL
寸法 φ163mm × 200mm (H)
放電電圧 50V 〜 300V
放電電流(max) 8A
ガス流量 5sccm 〜 50sccm(アルゴン)
10sccm 〜 100sccm(酸素)
使用圧力 3.5 × 10-2 Pa 以下
水冷方式 アノードおよび本体
ニュートラライザー Wフィラメント