| 1999.08 |
東京都大田区に各種光学成膜装置の製造販売を目的として当社設立 |
1999.09 |
埼玉県川越市に第１工場新設 |
| 2000.03 |
光通信用多層膜フィルタ成膜装置（NBPF）販売開始 |
| 2000.05 |
本社（現 川越技術センター）を埼玉県川越市に移転 |
| 2000.12 |
成膜装置部品製造販売を目的に光馳科技（上海）有限公司（現 連結子会社）を設立 |
| 2001.01 |
IAD光学薄膜形成装置OTFCシリーズ販売開始 |
| 2001.04 |
生産能力拡張を目的に本社工場（現 川越技術センター）に第２工場新設 |
| 2004.10 |
光馳科技（上海）有限公司が上海市内の新工場竣工に伴い移転 |
| 2006.05 |
汎用型光学薄膜形成装置Generシリーズ販売開始 |
| 2007.08 |
光学薄膜装置の生産を本社工場から光馳科技（上海）有限公司に順次移管 |
| 2009.10 |
光学膜用スパッタ成膜装置HSP-1650販売開始 |
| 2011.09 |
反応性プラズマ成膜装置RPDシリーズ販売開始 |
| 2013.01 |
中国国内営業取引の拡充を目的に光馳（上海）商貿有限公司（現 連結子会社）を設立 |
| 2013.09 |
生産・研究開発の拡充を目的に光馳科技股份有限公司（台湾）（現 連結子会社）を設立 |
| 2014.02 |
光馳科技股份有限公司（台湾）の工場竣工 |
| 2014.08 |
販売体制の拡充を目的にOptorun USA, INC.（現 連結子会社）を設立 |
| 2014.09 |
光学膜用スパッタ成膜装置NSC-15販売開始 |
| 2014.11 |
成膜事業への事業領域拡大を目的に薄膜加工サービスを提供する東海光電股份有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
| 2017.02 |
光馳科技股份有限公司（台湾）が生産・研究開発の拡充を目的に台湾苗栗県に新工場を取得 |
| 2017.03 |
光学薄膜スパッタ成膜装置 NSC-2350販売開始 |
| 2017.08 |
成膜事業への事業領域拡大を目的に薄膜加工サービスを提供する浙江晶馳光電科技有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
| 2017.12 |
東京証券取引所 市場第一部に上場 |
| 2018.09 |
成膜事業の事業領域拡大を目的に成膜装置の設計サービスを提供するAfly solution Oyに出資 |
| 2018.11 |
水平スパッタ装置OWLS-1800販売開始 |
| 2018.11 |
東京都豊島区池袋に東京オフィスを開設 |
| 2019.01 |
成膜事業の事業領域拡大を目的に真空部品及び装置の組立・加工サービス等を提供する上海繁楓真空科技有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
| 2019.04 |
成膜事業への事業領域拡大を目的に成膜装置を製造販売する東莞匯馳真空製造有限公司（現 持分法適用関連会社）に出資 |
| 2019.08 |
プラズマ原子層堆積装置A800P販売開始 |
| 2019.09 |
両面スパッタ成膜装置OWLS-1800D販売開始 |
| 2020.01 |
新型・超多層薄膜形成装置SPOC-1100T販売開始 |
| 2020.09 |
Afly solution Oyに追加出資し連結子会社化 |
| 2021.06 |
光学デバイス向けドライエッチング装置DEGシリーズ販売開始 |
| 2021.09 |
ALD成膜装置の開発、生産、販売を目的に光馳半導体設備（上海）有限公司（現 連結子会社を設立） |
| 2022.04 |
東京証券取引所の新市場への移行に関し、プライム市場に移行。 |
| 2022.09 |
研究開発能力強化のため、埼玉県鶴ヶ島市に研究開発施設物件を取得。 |
