お問い合わせ生産中止製品
| 対象機器 | 生産終了機器 型式 | 現行機器 型式 |
|---|---|---|
| APC CONTROLLER | RVG040 VCC500 |
PM-C |
| MONITOR ROTATION | ASM66AC-N5 | KPL60-25-PO |
| ASD12A-CDN | MHMJ042G1U MBDHT2510 |
|
| 真空計コントローラー | VGC403 | VGC503 |
| APCバルブ | RME010 VDM-005 |
62714-XE64-ABH2 |
| HEARTH ROTATION | R88M+R7G R88D |
KPL60-25-PO+MHMJ042G1U MBDHT2510 |
| ION SOURCE CONTROLLER | OISC-One | OISC-Ⅱ |
| NEUTRALIZER DC | OISN-one | OISN-Ⅱ |
| Source DC | OISS-One | OISS-Ⅱ |
| マッチングボックス | AMVG-600RUN2 | AMVG-600RUN3 |
| ガスフローコントローラ | OGU-One＋ | OGU-Ⅱ |
| 水晶膜厚コントローラ(Deposition Controller) | IC/5 | IC/6 |
| ポリコールド(POLY COLD) | PFC-1100 PFC-1102HC |
MaxCool 4000H |
| ポリコールド(POLY COLD) | PFC-670 | PFC-672HC |
| MFC(Ion source) | SEC-V | SEC-N |
| 真空計コントローラー (Vacuum Gauge) |
CM31 VGC023 |
VGC403 |
| PCレコーダーソフト | MSRPAC2001 | MSRPAC-2010 |
| デジタルプログラム温調計 | KP1130B0M8 | |
| 水晶膜厚コントローラ(Deposition Controller) | XTC/2 | XTC/3 |
| プログラマブル ターミナル | NS8-TV00(B)-V1 | NS8-TV00(B)-V2 |
| プログラマブルターミナル(TOUCH PANEL) | NT631C-ST152 | NS10-TV00-V2 |
| NT620C-ST141 | NS8-TV00-V2 | |
| プログラマブル ターミナル | NS10-TV00(B)-V1 | NS10-TV00(B)-V2 |
| プログラマブルターミナル(TOUCH PANEL) | NT631C-ST152 | NS10-TV00-V2 |
| NT620C-ST141 | NS8-TV00-V2 | |
| 無停電電源装置(UPS) | BX75XS2 | BX75SW |
| ガスフローコントローラ(DIGITAL GAS FLOW CONTROLLER) | OGU-One | OGU-Ⅱ |
| 分光器 | HOM2-N-400 | HOM2-N1 |
| プログラマブル ターミナル | NSシリーズの製造中止 |