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原子層堆積装置
ALDER-800P
ALDER-800Pはプラスチック基板への光学多層成膜を可能としたプラズマALD装置です。
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レンズ全周や3D構造物へのコンフォーマル成膜
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Al2O3、TiO2、SiO2への成膜が可能
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ワークトレイΦ100×75枚による大量成膜
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プラズマ・プロセスにより低温成膜が可能
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原料供給・プラズマ照射の最適化により成膜時間を短縮
ALDER-800T
ALDER-800T(A800T)は大容量ロードロック機構を有し、高いスループット、高い均一性、優れた再現性を実現するサーマルモードALD装置です。
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LED用途などハイスループットALDに対応した設計
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再現性良く、高い均一性の成膜プロセスを実現
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6秒以下の高速ALDサイクル
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ロングメンテナンスサイクル
