光学モニタ

DHOM-T

DHOM-Tは、成膜中に回転ドーム上にある基板の光学膜厚を直接監視制御する光学膜厚計です。

波長帯域は350～1100nm と350～2400nmをラインナップしております。

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回転ドーム上にある基板の光学膜厚を直接監視制御する事が可能

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ドーム上のモニタリング位置を変更可能（成膜前に変更調整）

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モニタガラスを用いた従来式の間接モニタリングシステムと同時搭載ができ、各層で切替制御が可能