製品紹介ALDER プラズマ原子層堆積装置
立体形状への成膜が可能で従来の成膜手法では成しえなかった光学特性を実現します。
特長
- 可視光領域で0.1%を下回る極低反射率コーティング
- 急峻な立体構造表面へのコンフォーマル成膜
- 大曲率レンズ両面への広入射角ARコーティング
- 低温プラズマによるプラスチックレンズへの成膜
- ゴースト・フレアが消えたリアルかつ鮮明な画像を実現
応用分野
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スマートフォン
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LED
仕様
| A800PBS | A1000PC | |
| 真空チャンバ | W880mm×D1100mm×H1700mm | W900mm×D900mm×H1150mm |
| 成膜ボックス | W360mm×D900mm×H360mm | W374mm×D700mm×H800mm |
| 回転式基板ラック | φ300ホルダ×25段、30rpm | φ350ホルダ×40段、30rpm |
| プラズマ源 | ICP(誘導結合プラズマ) | |
| 前駆体供給源 | 前駆体容器、ALDバルブ、 前駆体（TMA、3DMAS、TiCI4ほか） |
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| 排気システム | ドライポンプ | |