製品紹介COFC 連続式光学薄膜形成装置
COFCは蒸着室に2室の加熱補助室を加えた連続式光学薄膜形成装置です。基板ドーム搬送機構による高い処理速度は反射防止膜の量産に適しています。
特長
- 多点式高精度反射式光学モニタで光学膜厚を制御
- 顆粒・ペレット材料に対応した自動給材機構を搭載
- 反射防止膜に最適
- 全自動制御システムによるドーム搬送・成膜
応用分野
-
スマートフォン
仕様
| 型番 | COFC-1300 |
|---|---|
| 真空チャンバ | φ1510mm×H1558mm |
| 基板ドーム | φ1200mm |
| 蒸発源 | 電子銃2基 |
| イオンソース | RFイオンソース |
| 光学膜厚制御システム | HOM2-R-VIS400A 波長範囲: 400~1100nm 反射式 |
| 水晶式膜厚計 | 20点式水晶モニタ |