製品紹介

DSC は光学薄膜フィルタ―用スパッタリング装置です。真空での自動ハンドリング＆反転機構を搭載することで、高品質での量産を実現します。自動車レンズの凹面・凸面への反射防止膜・防汚膜コーティングや光学部品への反射防止膜、高反射膜、ハード膜コーティングに適しています。　

特長

  • デュアルチャンバー：ワンプロセスで製品両面にAR＋ASコーティング
  • シングルチャンバー：ワンプロセスで製品両面にARコーティング
  • 最大8ターゲットポジション搭載可能
  • デュアル回転円筒ターゲットで安定した放電を実現
  • 高積載容量・短時間プロセスで量産に最適
DSC 光学膜用スパッタ成膜装置

  • 自動車

    自動車

DSC-1650
真空チャンバ φ1650mm×H1500mm
基板ホルダ 16枚
基板回転機構 φ1545mm ドラム式、
10rpm～100rpm（可変）
反応源 ICP（誘導結合プラズマ）
スパッタ源 デュアルカソード、ロータリ式
排気システム あらびきポンプ、ターボ分子ポンプ
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