製品紹介Gener イオンアシスト蒸着装置
反射防止膜を大量生産するために設計製作された光学薄膜形成装置です。
特長
- ドーム回転は磁気シール駆動による中心回転方式で安定かつ均一膜分布が得られる。
- 排気特性及び昇温能力が向上し成膜タクトタイムが短縮可能
- 光学モニタシステム、DCイオンソース、及び抵抗加熱蒸発源をオプションで搭載可能
- Gener-2350/2750は反射防止膜、防汚膜を組み合わせた成膜が可能
応用分野
-
スマートフォン
-
自動車
-
防犯カメラ
-
ヘッドマウントディスプレイ/スマートグラス
仕様
| Gener-1300 | Gener-2350 | Gener-2750 | |
| 真空チャンバ | φ1300mm×H1500mm | φ2350mm×H1400mm | φ2750mm×H1880mm |
| 基板ドーム | φ1200mm,4分割式 | φ2200mm,5分割式 | φ2640mm,4分割式 |
| 蒸着源 | 電子銃1基 | 電子銃1基、可動式AS源 | |
| イオンソース | RFイオンソース | ||
| 水晶式膜厚計 | 6点式水晶モニタ | ||