製品紹介HOTF 真空蒸着装置
HOTF-2025は量産性に優れた真空蒸着装置です。優れた品質でのIRカットフィルター、DBR、およびプラスチックレンズ向け反射防止膜を低コスト・高い安定性で生産が可能です。
特長
- 排気システム：ターボ分子ポンプ搭載。低パーティクルを実現。
- イオン源：高速成膜に対応したOIS-26Hイオン源を採用。屈折率分布を約30％向上
- 膜厚分布：<10％(膜厚補正板なし)、<1％(膜厚補正板使用)
- 製品： IRカットフィルター、LED用DBR、プラスチック上のAR膜などの量産
- 生産能力： 約90％向上 (OTFC1550との比較)
応用分野
-
スマートフォン
（ディスプレイ） -
自動車
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防犯カメラ
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ヘッドマウントディスプレイ/
スマートグラス
仕様
| 型番 | HOTF-2025 |
|---|---|
| 真空チャンバ | φ2025mm×H1852mm |
| 基板ドーム | φ1900 |
| 水晶式膜厚計 | 6点式水晶センサ |
| 蒸発源 | 電子銃2基 |
| イオンソース | RFイオンソース |