製品紹介OGCT ガスクラスターイオントリミング装置
OGCT-8000はガスクラスターイオンビームを利用したトリミング装置で、RFフィルタの周波数調整における膜厚制御に適しています。最大Φ200mmのウェハに対応し、高精度の膜厚トリミング制御により歩留まり改善を実現します。
特長
- EFEM搭載、カセットtoカセット仕様
- 加速エネルギー：最大60kV
- 独自シミュレーションソフトで最適なエッチング量を算出
- 高精度スキャンシステムで高精度なエッチング制御
- オプションで光学式膜厚測定器を搭載可能
応用分野
-
電子デバイス
（通信デバイス(BAW/SAW)） -
半導体
仕様
| OGCT-8000 | |
| 外形寸法 | L5035×W1971×H2302 |
| ガスクラスターイオン | 電子衝撃式、断熱膨張凝集型 |
| 膜厚測定部 | FTMW-200P、反射型顕微分光式 |