反射防止膜や各種光学フィルタ成膜用の真空蒸着装置向けの光学式膜厚計。
波長220nm～5500nmと多種のラインナップをそろえており、監視方式・測定方式・分解能で用途に合わせたモニタリングシステムを選択可能。
新たに成膜中に回転ドーム状にある基盤の光学薄膜を直接監視することができる「直接透過式モニタ」を開発。