製品紹介

RPDシリーズは、高性能なLED 機能性膜（ITO/AlN）を低コストにて量産することができる反応性プラズマ成膜装置です。

特長

  • 反応性プラズマ源により成膜材料の蒸発と活性化を同時に実現
  • 適切なエネルギーにより高品質な結晶膜を形成
  • 従来法と比べて、低温・低コストで量産可能
RPD リアクティブプラズマ蒸着装置

  • LED

    LED

RPD-1000 RPD-1300
真空チャンバ φ1000mm×H1165mm φ1300mm × H1460mm
基板ドーム φ870mm φ1180mm
水晶式膜厚計 6点式水晶センサ
蒸発源 反応プラズマ源
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