製品紹介SDARP イオンアシスト蒸着装置
樹脂製光学レンズへの多種多様な薄膜に対応した光学薄膜形成装置
特長
- 省スペースでの設置が可能
- 自動反転式ドームだけでなく一体型ドームにも対応可能
- オプションでRFイオン源を装備することでイオンアシスト蒸着方式での成膜が可能となり、高品質な光学薄膜を生成可能
応用分野
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スマートフォン
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自動車
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防犯カメラ
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ヘッドマウントディスプレイ/スマートグラス
仕様
| SDARP-1800 | |
| 真空チャンバ | φ1800mm × H1770mm |
| 基板ドーム | W510×L690,9分割 |
| 蒸発源 | 電子銃2基 |
| イオンソース | RFイオンソース |
| 光学膜厚制御システム | HOM2-R-VIS350A 型光学モニタ 波長範囲: 350~1100nm 反射式/透過式 |
| 水晶式膜厚計 | 6点式水晶センサ |