パーティクル対策　新型電子銃BSTを発売出荷中

パーティクルや成膜外観に対する市場要求が、更に厳しくなってきており、成膜装置ユーザ様におかれましては、様々な努力や取り組みをされていることと存じます。
Optorunは、装置メーカーとしてできることに取り組んでおります。
その１つとして、パーティクル対策の新型電子銃BSTを開発し販売出荷中です。

パーティクル.pdf