また、Scope3においては、弊社の事業形態においては販売した製品の使用によるCO2排出量(Scope3 カテゴリ11)が最も気候変動への影響が大きいと予測し、当該項目の把握に向けて取り組むと共に、より高効率な装置開発を進めることで環境負荷低減を目指してまいります。
※Scope２の単体のCO２排出量について、2022年度の排出量が2021年度の排出量よりも多い要因は、受注および出荷量増加により活動量が増したことによるものです。※Scope３（カテゴリ11）については、CO２排出量の実測が出来た装置については実測数値、実測が出来ていない装置については仕様書記載の最大数値をもとに計算をし、当社の全販売装置台数の9割の装置を対象に計算をしています。また、計算にあたっては、対象の装置が、１日15時間、年間300日稼働させた場合の年間排出量を計算しております。なお、一部仕様書記載の最大数値が不明な装置は、類似の装置の数字を使用しております。
※2022年のScope３は、当社事業の性格から販売製品である装置からの排出量がScope 3全体の中で最も高い比重を占めると考えられることから、カテゴリー11についてのみを開示しております。
【当社の取り組み】
・CO2排出量の測定
研究開発拠点として、装置の電力量あたりの生産量または成果量の効率アップに向けた装置設計等の取り組みにより、消費電力を削減させ、CO2の 削減を目指しております。具体的には、装置成膜プロセスの面積増大、時短、歩留アップ、広く用いられている油拡散ポンプ(DP)→省電力なターボ分子ポンプ（TMP）への交換等による消費電力削減等です。
【省エネ事例】
油拡散ポンプ（DP）に関するソリューション
①加熱システムの最適化：
PID制御を導入しDPの加熱温度を一定に保つことで、1800サイズ蒸着装置において、DPの消費電力を削減できます。
②ターボ分子ポンプ（TMP）への交換：
広く用いられているDPに代わり、同じ排気能力でありながら省電力なTMPを実装した蒸着装置を実現しました。TMPを搭載した場合、 1800サイズ蒸着装置においてDP搭載型と比較しポンプに関わる消費電力を削減できます。
・CO2排出量の測定
当社では、CO2削減のために、順次当社装置のCO2排出量の測定を開始しております。
CO2排出量の測定を開始した装置例
・LED電球の導入川越技術センターにおいて、LED電球を使用することで、省エネに取り組んでおります。また、新社屋となる鶴ヶ島市の工場においても、LED電球を導入する予定です。
【当社グループの取り組み】
(オプトラン上海における取組み)
定周波数の空気圧縮機を、インバータ式の装置に変更することにより、省エネ、CO2 削減を実現しております。
(オプトラン台湾における取組み)
太陽光発電により、省エネ、CO2 削減を実現しております。
(光馳半導体技術における取組み)
光馳半導体技術においても、現在建設中の新工場において、太陽光発電や光熱システムを使った熱水の給水等により、省エネ、CO2削減を実現できるように進めております。
